有两种情势的尺度漏孔

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  氦质谱检漏仪利用申明 氦质谱检漏仪利用申明 一、 检漏仪及其实空系统的构成 VARIAN959-50 检漏仪检漏漏率范畴从 1X10-3 (毫升 / 秒)到 2X10-10(毫升/秒) (相当于 30 年漏 1 毫升) ,它次要由质谱管、高实 空泵、 热偶规管、 一系列按钮节制的阀、 测试接口、 实空和漏率, 以及电板等部门构成,其实空系统布局为(泵型) ,如图 1: 图1 检漏仪实空系统布局图(泵型) 检漏仪后,V1、V2、V6 阀打开,测试口取质谱管连结实空 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第1页 氦质谱检漏仪利用申明 毗连。若是按下“VENT”键,放气阀 V3 打开,V1 封闭,测试口处 于大气形态,同时 V2 打开,使泵、质谱管和机械泵连通。 泵运转时,质谱管线TORR 以上,才能给离子源灯 丝加热。 二、 检漏仪工做道理 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第2页 氦质谱检漏仪利用申明 图2 检漏仪工做道理图 若是被检系统有细小漏孔,正在小孔四周喷氦气时,总有部门氦原 子会通过漏孔进入检漏仪接口,通过其实空系统扩散到质谱管。质谱 管是检漏仪焦点构成部门,拜见上图 2,正在电场和感化下,灯丝 发射电子负气体电离,电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后,进 入阐发(强度为 2340 高斯) ,因为受洛仑磁力感化,离子 会发生偏转,其它前提不异的环境下,偏转半径由带电粒子电量 取质量之比即荷质比决定,荷质比小的离子偏转半径小,荷质比大的 粒子偏转半径大,只要氦离子才能通过小孔达到收集极,信号经 放大后,检漏仪报警。 三、节制和器功能申明: 序号 1 节制、器 功能 Vent Start Hold 和 Test 检漏仪开关时,节制各个阀的 按钮 动做挨次 Pressure(压力) Leak rate(漏率) 显示测试口压力, 单元 millitorr 显示漏率, 单元 std cc/sec(尺度 立方厘米每秒),跨越或低于测 量量程,别离由上下端两个发 光 二 极 管 ( LED ) “over” 和 “under” 显 示 。 随 “range” 和 “Hi-Lo Sensitivity”档位选择不 同, ×10-指数窗口将显示 4、 5、 6、7、8 或 9 做指数 2 3 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第3页 氦质谱检漏仪利用申明 4 Range(量程选择) 量程选择共四个档位。旋钮上 端圆孤从左到左,由最小 漏率(最高活络度)到最大漏 率(最低活络度) 电位器调理零点 质谱管灯丝发射后绿色 LED 显 示灯亮,暗示检漏仪处于测试 形态 5 6 Zero(调零) FIL(灯丝) 7 Hivac ok (实空度 ok) 系统实空度达到要求后,绿色 LED 灯亮 Main power(从电源) Focus(聚焦) ION(离子源节制) 检漏仪总电源节制 调理聚焦电位 调理离子腔室电压,电位器可 转 10 圈 8 9 10 11 Residual background( 残 二位选择开关,检测实空系统 余本底) 本底,凡是打正在 Run(运 行),若是要测氦本底, 则打至 check(检测)。 Coarse zero (粗调) Fil. Selector(灯丝选择) 漏率显示粗调 二位开关选择灯丝 1 或灯丝 2 12 13 14 15 Fil. On–Off (灯丝开关) 开关离子源灯丝 EMIS (发射节制) 通过改变灯丝电流来调理离子 源电子发射 调理检漏仪板警声音 校准电位器,使漏率读数和标 16 17 AUDIO(声腔调节) CAL.(校准节制) 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第4页 氦质谱检漏仪利用申明 准漏孔分歧 18 Hi-Low SENSITITY (凹凸 二位开关选择凹凸活络度 活络度选择) 高活络度=10-9-10-6CC/SEC 低活络度=10-8-10-5CC/SEC 19 可调磁铁 调理离子源电流,获得最大灵 敏度 四、开机操做步调(对泵检漏仪) 1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏; 2) 开前级机械泵电源; 3) 打开左边小门,合上从电源开关,所有灯暂亮起,比及 “TRURBO READY”灯亮; 4) “HIVACK OK”灯亮后,将“FIL”开关打到 ON,灯丝 灯亮,需要时多次反复这一步调曲到灯丝不变; 5) 按下 START 键; 6) 当测试口压力降到绿色段(100 millitorr)时,TEST 灯 亮,三分钟后,若是测试话柄空度降到绿色段,HOLO 灯亮, 压力降到 100milltor 以下后, HOLO 灯灭, (若是实空 度达不到要求,HOLD 将正在三分钟内发亮) ; 7) 检漏仪会从动上一步,曲到测试口压力降到 100 毫以下; 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第5页 氦质谱检漏仪利用申明 8) 被检系统喷氧检漏; 五、关机步调 1) 按下 VENT 键; 2) 关掉检漏仪从电源; 3) 关机械泵从电源; 以上操做使泵隔离大气,质谱管连结实空形态 六、检漏仪调零和校准 正在检漏之前,检漏议质谱应调到对氦反映活络,这需要用到尺度 漏孔。有两种形式的尺度漏孔,一种自带氦气,另一种按照毛细道理 需要利用者自带氦源。 1. 活络度 漏率显示条氦漏率从 2×10-10cc/sec 到 10×10-4cc/sec, 由红色 发光二极管。对泵型检漏仪,活络度开关打到 HI 时, 漏率范畴从 10-9cc/sec 到 10-6cc/sec,活络度开关打到 LO 时,漏 率范畴从 10-8cc/sec 到 10-5cc/sec, 漏率范畴的选择取决于 SENTITIVITY 开关档位的选择(HI 或 LO) ,旋钮 RAMGE 决定漏率数量级。 漏率显示上下端别离有 OVER 和 UNDER 发光二极管,若是漏率 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第6页 氦质谱检漏仪利用申明 没有显示,下端 UNDER 发光二极管发亮,漏率应调整,使显示 栏部门发光(没有氦或漏孔存正在) ,若是上端 OVER 发光二极管亮, 则应选择高数量级漏率。 2. 用自带氦气漏孔调整 尺度漏孔凡是有两种功能:①质谱管调零;②检漏仪校准。这二 种功能经常同时利用。 用自带氦室尺度漏孔调零质谱管法式如下: 1) 按下 VENT 按钮,将 RESIDUAL BACK GROUND 开关打至 RUN ,按一般开机步调打开检漏仪; 2) 将尺度漏孔接上检漏仪测试口并拧紧; 3) 按下 START 按钮,能听到机械泵短暂排气声; 4) 当测试口压力降压 100millitorr 时,TEST 灯亮,测试口和质谱管 连结线) 察看漏率,可能比尺度漏孔低,需要时调整 RANGE 开 关获得最大读数,但不克不及使 OVER SCAL 灯亮; 6) 封闭尺度漏孔,漏率会下降; 7) 需要时调整 2ERO 微调旋钮,获得一个零点漏率读数(有时也可 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第7页 氦质谱检漏仪利用申明 用 COARSE ZERO 粗调) ; 8) 从头打开尺度漏孔察看漏率读数,需要时调整 RANGE 旋钮,使 显示数值正在 1-9 之间; 9) 轻细调整 FDCUS 和 ION 旋钮,使漏率显示为最大峰值; 10) 某一部门调理可能影响其它参数, 因而有必安反复第 6—9 步, 曲 到漏率读数不变; 11) 封闭尺度漏孔,记实零点读数。 3. 校准 1) 完成调零操做步调; 2) 要校准检漏仪,或更活络地栓到更小的漏孔,需进一步伐理漏率 。正在这种环境下,打开尺度漏孔(供氦)调理 CAL 旋钮,曲 到漏率读数和尺度漏孔分歧; 3) 封闭尺度漏孔,从头记实零点数值; 4) 反复第一步和第二步; 5) 按下 VENT 按钮,拆下尺度漏孔。 七、离子源改换 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第8页 氦质谱检漏仪利用申明 改换离子源需拆开质谱管,换完之后要从头调整检漏仪。 图3 离子源及质谱管的拆拆示企图 1) 按质谱管拆卸要求拆下质谱管,并拆下离子源; 2) 改换“O”圈,将新离子源定位销放正在导向孔两头; 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第9页 氦质谱检漏仪利用申明 3) 平行柠紧质谱管螺栓(1-8) ; 4) 将法兰帽(4、9、13)上的 4 个螺丝上紧、上平,接好质谱腔室; 5) 打开栓漏仪,从头调整,校准检漏仪。 八、拆卸质谱管 1) 揭开检漏仪上端盖板; 2) 抓紧前级放大器和离子源; 3) 抓紧质谱管 KF 法兰卡子; 4) 悄悄摇动质谱管给线) 把质谱管放正在清洁、无的工做台上; 6) 抓紧离子源法兰帽(4)四个螺栓(3) ; 7) 小心隆重把离子源(5)和法兰帽(4)分隔,记下“O”圈(6) 型号并改换之; 8) 从离子源腔室小心拆开出口狭缝板(7) ; 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第10页 氦质谱检漏仪利用申明 留意 以下步调必需细心记实离子源出口狭缝的,安拆时必 须切确其原位。 9) 抓紧前级放大器(10)法兰帽(9)的四个螺栓(8) ; 10) 小心分隔前级放大器(10)和法兰帽(9) ,记实“O”圈(11) 型号并改换; 11) 把前级放大器(10)放正在清洁布或无静电餐巾纸上; 12) 抓紧磁偏转安拆(14)法兰帽(13)的四个螺栓(12) ,改换“O” 圈(15) ,放正在清洁布或无静电餐巾纸上,远离并防止跌落以 免改变其特征; 13) 标识表记标帜磁偏转安拆接地卡子的,悄悄移开,防止弄弯它; 14) 万万不要挪动质谱管边上两块加强型磁铁(16 和 17) ,如不慎使 该磁铁裂开或破损,则需从头改换和调整; 15) 抓紧方形 KF 法兰上的四个螺栓(1) ,悄悄拿下该法兰和“O”圈 (2) 。 九、清洗质谱管 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第11页 氦质谱检漏仪利用申明 留意 用清洁、无纤维屑的布擦拭新的“O”型密封圈,万万不要用 水或其它溶剂清洗“O”圈,不然将使“O”圈的密封能力下降。 万万不要用裸手接触各实空配件。 万万不克不及用 Alconox 粉末清洗剂清洗铝配件, Alconox 粉末清 洗剂会对铝配件发生损害。 1) 利用柔性研磨料或水砂纸去除质谱管上较硬的堆积物,出口狭缝 最好可以或许改换,不然也必需细心地研磨和洁净; 2) 洁净质谱管的各个内概况,并用甲醇试剂频频冲刷; 3) 查抄前置放大器,洁净其开孔面,并用甲醇试剂频频冲刷; 4) 细心记下接地卡子的,洁净磁偏转安拆,用小的硬毛刷清掉 套桶上的堆积物,用清洁的软布蘸甲醇洁净磁铁; 5) 将所有部件正在空气中天然风干。 十、拆卸质谱管 1) 安拆新的出口狭缝板,板上的叉接锁紧安拆准确对位,利用 “一”字螺丝刀调理狭缝标的目的取质谱管的侧壁呈 90°,将狭缝板 上的小孔取离子源上的导向孔小心对正(如图 3 之 Detail A) ; 2) 改换“O” 圈(6) ,并用清洁布将“O”型圈(6)和密封面擦 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第12页 氦质谱检漏仪利用申明 拭清洁,拆到离子源(5)上,并将离子源拆到质谱管的孔洞中: a) 将定位销插到导向孔的两头; b) 将 1-8 的八只螺栓平均地上好,确保其取质谱管的侧壁平 行; c) 用 4 只螺丝将法兰(4)上紧; 3) 改换“O”圈(11) ,并清洗“O”圈(11)和密封面,将前置放 大器(10)拆到质谱管的孔洞中,用 4 只螺丝将法兰(9)上紧; 4) 改换“O”圈(15) ,并清洗“O”圈(15)和密封面,将磁偏转 安拆(14)拆到质谱管的孔洞中,确保磁铁上的箭头标的目的取质谱 管的侧壁垂曲,钱柜qg777,用 4 只螺丝将法兰(13)上紧; 5) 改换“O”圈(2) ,并清洗“O”圈(2)和密封面,一手持质谱 管,用 4 只螺丝(1)将方形 KF 法兰上紧,确保线) 毗连质谱管取检漏仪的线) 将前置放大器和离子源的电器接线) 打开检漏仪,进行加强型磁铁的调理法式(十) ,调理氦峰,校准 检漏仪。 十、加强型磁铁的改换调理法式: 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第13页 氦质谱检漏仪利用申明 当检漏仪对氦活络度降低、或改换离子源后,加强型磁铁应进行 调理。 1) 确保加强型磁铁上箭头标的目的和质谱管所标标的目的分歧; 2) 固定磁铁; 3) 开栓漏仪,至多预热 30 分钟; 4) 把检漏仪打到测试形态,接好尺度漏孔,打开阀门,并调零; 5) 放松一块磁铁轻细调整,漏率显示对磁铁反映相当活络,得 到漏率峰值信号后,因定磁铁; 6) 照以上步调调整另一块磁铁; 7) 盖好检漏仪上盖并校准。 十、清洗泵 1) 预备一个清洁的、 脚够大的 (能够容纳整个泵, 如图 4) 容器; 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第14页 氦质谱检漏仪利用申明 图4 泵清洗示企图 2) 将泵电源接头拆下来,然后拆卸毗连系统取泵的高线) 小心地将泵倒置于容器中, 正在容器中添入适量氟里昂液体 (推 荐 Freon TF 或 Freon TMC) ,液面高度应正在不锈钢封套的边缘以 下 15-20mm,万万不克不及将氟里昂加得过多,不然会损坏泵的 轴承; 4) 悄悄地上下摇动泵,以去除泵刀口和叶片概况的污染物; 5) 将泵从容器中取出,倒掉容器中的氟里昂; 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第15页 氦质谱检漏仪利用申明 6) 反复步调 3-4,频频几回,每次均利用清洁的氟里昂; 7) 将泵翻过来,放正在清洁的概况让其天然干燥; 8) 完全干燥后,将泵拆回到系统上。 十一、电部门调理内容 1) 调理发射电流; 2) 栓查离子源电压; 3) 热偶规 TC1 校准; 4) 漏率显示放大调理; 5) 残佘本底检测。 豪威实空光电股份无限公司文件 共16页 第16页

 

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