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　　检漏仪的利用方式 HELIOT MODEL-301 MODEL- ANA TP TV1 CLV CL CMP TV2 VV TV3 R P PiG 一. 检漏仪的道理: 检漏仪的道理: 通过检漏介质—氦气,若是测试腔体有漏, 通过检漏介质—氦气,若是测试腔体有漏,氦 气就会由腔体漏入， 气就会由腔体漏入，颠末管道和抽气系统 进入检漏仪. 进入检漏仪.氦气从检漏仪里的校准漏孔出 来，再颠末离子源和阐发管将氦气离 化为离子,并将其它离子离化并中合， 化为离子,并将其它离子离化并中合，只让 氦离子通过，并将电离值为数字量， 氦离子通过，并将电离值为数字量， 若是这个值有较着的上升,就表白有漏了. 若是这个值有较着的上升,就表白有漏了. 二.检漏仪的利用方式: 检漏仪的利用方式: 起首确认取检漏仪接正在一路的检漏腔体的 线Pa以下 以下; 线Pa以下; 接通检漏仪的电源，按下检漏仪的MAIN 接通检漏仪的电源，按下检漏仪的MAIN POWER开关 POWER开关； 开关； 呈现“ START”按钮时 按钮时， 呈现“PUSH START”按钮时，按下检漏 仪的“START/STOP”按钮； 仪的“START/STOP”按钮； 按钮 检漏仪进入自检形态，其过程为： 检漏仪进入自检形态，其过程为： Pumping→Zero→He Top→Fine→Mid→Grs→Zero →Standby→Test; 迟缓打开检漏仪上的手动阀门，等节制手 迟缓打开检漏仪上的手动阀门， 柄上的数据不变后起头检漏； 柄上的数据不变后起头检漏； 测试完毕，先封闭检漏仪的手动阀门， 测试完毕，先封闭检漏仪的手动阀门，再 按下节制手柄上的“Vent”的按钮 的按钮； 按下节制手柄上的“Vent”的按钮； 封闭检漏仪上的“START/STOP”按钮 按钮， 封闭检漏仪上的“START/STOP”按钮， 等5秒后，封闭检漏仪上的MAIN POWER 秒后，封闭检漏仪上的MAIN 开关。 开关。 三． 氦气的特征： 氦气的特征： 略比氢气沉一些的惰性气体。渗入性比力 略比氢气沉一些的惰性气体。 因为氦气比力轻，打出后老是向上走， 强。因为氦气比力轻，打出后老是向上走， 所以检漏的挨次该当是从上往下的挨次， 所以检漏的挨次该当是从上往下的挨次， 气体比力贵，因而气量尽量开的小一些。 气体比力贵，因而气量尽量开的小一些。 四． 检漏的方式： 检漏的方式： 1．利用氦质谱检漏仪： 利用氦质谱检漏仪： 确定大致范畴； ①确定大致范畴； 一一解除思疑的漏点（用自封带， ②一一解除思疑的漏点（用自封带，胶 油脂和酒精等）； 带，油脂和酒精等）； 找出漏点的最大处（ ③找出漏点的最大处（最终确定漏点的 最小范畴）； 最小范畴）； 2．利用酒精检漏（看实空计的变化，漏点 利用酒精检漏（看实空计的变化， 可具体化，但活络度不高）； 可具体化，但活络度不高）； 3．利用探伤剂（渗入剂和显影剂，对于 利用探伤剂（渗入剂和显影剂， 找出的思疑漏点，使其出来）； 找出的思疑漏点，使其出来）； 4．超声波和X射线等（检漏成本较高， 超声波和X射线等（检漏成本较高， 不易普遍采用）。 不易普遍采用）。 检漏仪的面板申明： 五． 检漏仪的面板申明： ? 六．检漏仪常见的一些问题点： 检漏仪常见的一些问题点： 1．漏率值有时会俄然上升，然后又很快回 漏率值有时会俄然上升， 到本来的，并且是每隔必然时间； 到本来的，并且是每隔必然时间； 2．因为漏的缘由，漏率值上升，解除漏的 因为漏的缘由，漏率值上升， 要素后，漏率值却一直降不下来； 要素后，漏率值却一直降不下来； 3．打了氦气后，再通入压缩空气，漏率值 打了氦气后，再通入压缩空气， 没有变化，但泄压后漏率值又起头上升。 没有变化，但泄压后漏率值又起头上升。 七．氦气检漏的品种： 氦气检漏的品种： 1．顺流检漏体例，活络度高，反映快，一般都采 顺流检漏体例，活络度高，反映快， 用这种检漏体例； 用这种检漏体例； 2．逆扩散检漏体例，可正在高压形态下进行检漏。 逆扩散检漏体例，可正在高压形态下进行检漏。 3．301检漏仪分四种检漏模式：①粗检漏模式 301检漏仪分四种检漏模式 检漏仪分四种检漏模式： 1000Pa以下），②一般检漏模式（ Pa以 以下）， （1000Pa以下），②一般检漏模式（70 Pa以 ），③精检漏模式（ Pa以下），④ 以下）， 下），③精检漏模式（10 Pa以下），④从动检 漏模式。 漏模式。 4．从动检漏模式，对检漏端口压力凹凸和泄露率 从动检漏模式， 的大小进行测试，来选择最佳检漏模式。 的大小进行测试，来选择最佳检漏模式。

　　氦质谱检漏仪 ——道理、利用方式及相关引见 内容 ? ? ? ? ? ? 实空检漏手艺 氦质谱检漏仪的次要形成及感化 实空学简介 泵的工做道理 质谱管布局及其工做道理 氦质谱检漏仪的利用方式及留意事项 实空检漏手艺 ? 实空检漏手艺就是用恰当的方式判断实系 统﹑容器或器件能否漏气﹑确定漏孔位及 漏率大小的一门手艺﹐响应的仪器称为检 漏仪。正在实空系统﹑容器﹑器件制制过程 中借帮实空检漏手艺确定它们的实空气密 性﹑探查漏孔的﹐以便采纳办法将漏 孔封锁从而使系统﹑容器﹑器件中的实空 形态得以维持。 什么是漏及检漏的尺度 ? ? 实空系统﹑容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊 缝﹑毗连处存正在孔洞﹑裂纹或间隙等缺陷﹐外部大气通 过这些缺陷进入系统內部﹐以致系统﹑容器或器件达不 到预期的实空度﹐这种现象称为漏气。形成漏气的缺陷 称为漏孔。漏孔尺寸细小﹑外形复杂﹐无法用几何尺寸 暗示﹐因而正在实空手艺顶用漏率来暗示漏孔的大小。漏 率是指单元时间內漏入系统的气体量。用漏率暗示漏孔 大小时，若是不加特殊申明，则是指正在漏孔入口压力为 1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为 296士3K的尺度前提下，单元时间内流过漏孔的温 度低于248K的空气的气体量。 漏率的单元是Pa· m3/s（帕斯卡×立方米／秒） 压强和漏率单元换算 ? 正在国际单元制中压强的单元是Pa(帕斯卡)， 1Pa的压强就是1m2面积上感化1N(牛顿) 的力。 最常用的检漏方式 ——氦质谱检漏法 ? 氦质谱检漏法是按照质谱阐发的道理，以 氦做摸索气体，对各类需密封的容器的漏 隙进行快速定位和定量检测的抱负的方式。 因氦是隋性气体，对大气无污染，利用安 全；氦原子量小、粘度小，易渗入过任何 可能存正在的漏率，检测活络度高、速度快、 合用范畴广；加之氦正在大气中含量少（仅 万分之五），离子质量取其它气体离子质 量相差很大，不易受干扰，不会错判。取 当今诸多检漏方式（如气泡法、卤素检漏 法等）比拟，它是佼佼者。 仪器布局 ? ZhP–30型氦质谱检漏仪由四部门组 成。 ? 实空系统 ? 质谱管 ? 电子学电 ? 机架 仪器布局图： 实空系统 实空科学成长的汗青回首 ? 人们大概是受翻译国外书刊的影响，凡是正在回首 实空科学成长史时，常常误认为1643年托里析 利的压力尝试和1650年葛利克发现抽气机是对 实空这一现象的最早发觉，其实早正在公元前六世 纪我国正在冶铁手艺中即采用了风箱鼓风法，那时 称风箱为“鞲鞴”。和国期间“经”一 书说“鞲鞴”是虏而不平、动而愈出”，这是利 用实空吸气道理的有记录的描述。而欧州到十六 世纪才发现这种设备。因而正在我们回首实空科学 成长过程时，是不应当健忘我们的先人、对人类 正在晚期成长实空手艺所做出的贡献。 二 、 实空及其使用 ? 实空的寄义 ? 正在实空科学中，实空的寄义是指 正在给定的空间内低于一个大气压 力的气体形态。人们凡是把这种 稀薄的气体形态称空情况。 分歧 实空形态下的实空工艺手艺 ? 跟着气态空间中气体 密度的减小，气体的物 质发生了较着的变化，人们就是基 于气体性 质的这一变化，正在分歧的 实空形态下、使用各类 分歧的实空工艺、达到为出产及科学研究办事的 目标 。 目前 ， 能够说 ， 从每平方厘米概况上 有上百个电子元件的超大规模集成 电的制制， 到几公里长的大型加 速器的运转，从平易近用粉饰品 的出产到受控核聚变、人制卫 星、航天飞机的问 世，都取实空工艺手艺亲近相关。分歧实空形态 下 所激发出来的各类实空 工艺手艺的使用概况 如下表 所示。 检漏仪的实空系统 ? 实空系统是指用来获得质谱管一般工 做所需实空的。 ? 它次要由机械泵、涡轮泵和三位 手动组合阀三部门构成。 机械泵 两个次要感化： ? 获得低实空 ? 做为其他抽更高实空泵的前级泵 （泵） 机械泵工做道理（油封型）： ? 用油来连结活动部件的密封、靠泵腔容积 变化而实现抽气的机械实空泵。它们的工 做道理都是使泵腔工做室容积机械地增大 和缩小而抽气。当泵腔内工做室容积变得 最小时，取泵的入口管道连通，于是气体 进入泵吸入腔，一曲到吸入腔容积最大并 从头取进气口分隔时为止。当容积削减时， 气体被压缩，曲到气体的压力大于一个大 气压，排气阀被打开，将气体排出。 采用油封的缘由： ? 当前大量利用的机械实空泵，即便设想得 再好，相向活动的零件间共同精度即便很 高。正在泵达到极限实空时，也难以气 体由低实空端向入口端“冲破”返流。另 外，因为泵正在设想制制及拆卸中不成避免 地存正在无害空间，这也降低泵的极限实空 度。油封机械实空泵就是用油将相向活动 的零部件和排气阀零件间密封起来；将有 害空间充填，使得高压气体反“冲破”的 机遇少得多，密封机能也就好得多，从而 使泵能达到较高的实空度。 泵： ? ? 泵是操纵高速扭转的转子把动量传输 给气体，使之获得定向速度，从而被 压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种 实空泵。 涡轮泵 靠高速扭转的动叶片和静止 的定叶片彼此共同来实现抽气的。这种泵 凡是正在流形态下工做。 三位手动组合阀 三位手动组合阀可对被监实现预抽实空、 检漏和放大气的全数检漏操做法式。如许 的工做是通过顺时针扭转操做手柄完成的。 ? 三位阀概况图 （操做手柄） ? 质谱管 ? 质谱管是检漏仪的焦点部门，包罗离子源、磁铁、 领受极取前置放大器、全离子检测极及管壳 等 部 分。 粒子受力阐发 ? ? 带电粒子的速度标的目的若取标的目的平行，带电 粒子不受洛伦兹力感化，将以入射速度做匀速 曲线活动。 带电粒子若垂曲进入匀强且只受洛伦兹力 的感化，带电粒子必然做匀速圆周活动，其轨 道平面必然取垂曲。由洛伦兹力供给向心 力，即： ? 粒子带电量为 q ，质量为 m ，经加快电 压 U 加快后进入匀强中，正在加快电 场中，由动能得：qU = 1/2mv2 ， 正在匀强中轨道半径： ? R＝ ； 若以一电子的电荷量做为1电荷单元，正离子的 电荷数用Z暗示，以相对原子量单元做为离子的 质量单元，离子质量数用M暗示，M的单元为高 斯（1高斯=10-4特），V的单元为伏特，R的单 位为cm，则 电子学线 ? ? 电子学线包罗节制部件和领受器两大部 分。 节制部件的电方块图包罗了总电源板 MAIN简称M板，显示板DISPLAY简称D 板，节制板CONTROL简称C板共三块电 板。 逆流检漏法 ? 逆流氦质谱检漏仪的布局 特点如图5所示。该类仪 器是按照油扩散泵或 泵的压缩比取气体品种有 关的道理制成的。例如， 多级油扩散泵对氦气的压 缩比为102；对空气中其 它成分的压缩比为lO4～ 106。检漏时，通过被检 件上漏孔进入从抽泵前级 部位的氦气，仍有部门返 流到质谱室中去，并由仪 器的输出示出漏气讯 号。这就是逆流氦质谱检 漏仪的工做道理。 操纵氦质谱检漏仪进行检漏的方式 有：喷吹法、氦罩法、吸枪法、背 压法、辅帮实空系统法等。 ? 检漏的目标是确定被检件漏孔的和 漏率，这些目标是通过采用一些尺度的 检漏方式实现的。采用什么方式要视被 检件的布局、检漏的经济效益及检漏系 统的性质来决定。按照分歧的检漏目标， 根基有以下几种检漏方式： 1.喷吹法 ? 该方式是将被检件接正在检漏仪的检漏口， 用检漏仪的实空系统对其抽实空并达到实 空跟尾取质谱管沟通，然后用喷枪向可疑 的部位喷吹氦气。当有漏孔存正在时，氦气 就通过漏孔进入质谱管被检测。 如图所示： 2.吸入法 ? 具体操做方式为用公用的吸枪毗连正在仪器 的检漏口上，要被检测的器件则充入必然 量的氦气（纯氦气或按必然比例夹杂的 氦—氮夹杂气体）。正在检漏时，让气枪沿 着可疑漏孔处慢慢挪动，若被检测器件有 漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至 仪器的质谱管而被检测。 如图所示：这种方式又称为吸枪法 3.钟罩法 ? 将被检测器件取仪器检漏口毗连抽实空， 并正在它的外面罩一个充满氦气的容器，如 果被检测器件有漏孔，氦气便会由漏孔进 入被检件，并最终达到质谱管被检测到， 所测到的漏率为被检测器件的总漏率，但 这种方式不克不及确定有几个泄露点和每个漏 点的精确。 示企图如下： 4.背压法 ? 这种方式正在检漏前用公用加压容器向被检 件压入氦气，然后取出被检件，吹去概况 吸附的氦气后放入公用的检漏罐中，再将 检漏罐毗连到检漏仪的检漏口上，对检漏 罐抽实空，实施检漏，则通过该漏孔压入 的氦气又出来进入检漏罐，最终达到 质谱管。用这种方式测到的漏率也是总漏 率。 如图所示： 5.辅帮实空系统法 ? 对于漏气速度和放气速度较大或者体 积较大的被检器件，这种环境需加接 辅帮实空系统，提高对被检件的抽速。 最简单的辅帮实空系统只需要一个机 械泵和两个阀门。 如图所示。 ? 氦质谱检漏仪操做指点书.xls 常见毛病及处置 ?一般运转取毛病判断 ?毛病查抄取解除 感谢！

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　　6、具有多个参数频道可设定泄露值、试件内容积、时间以及检压上下限设值等数据。能进行多组参数频道的设定。

　　对于一个密闭回，向其容积内充入压缩空气，使其内部压力达到检测时需要的压力，假设该密闭回无泄露，而且取无热量互换，且回没有变形，正在检测时间段内，这个密闭回的内部压力会连结正在检测压力；若是该容器有泄露，其内部压力必定会不等于检测压力，检测这段时间内的压力变化，可推导出该密闭容器的泄露参数。

　　7、显示全检测过程及时压力曲线及棒图；且时实压力曲线上具有各间段标识（便于清晰看到压力曲线正在某一时段波动情况）。

　　5、压力趋向曲线完全显示，压力曲线具有各时间段别离显示标识表记标帜（便于清晰看到 压力曲线正在某一时段波动情况）。

　　仪器将节制压力输入到回中，颠末必然时间后（时间可设置）从动关断充气气源。节制时间使得电磁阀气流不变，再关断起均衡感化的气控阀以隔离被测试件取尺度件。通过毗连正在被测试件取尺度件两头的细密微差压传感器，正在时间内丈量出尺度件取被试件的差压值，再通过温度弥补而获得被试件的现实泄露发生的压力降，从而判断试件能否泄露。

　　1、可以或许测出并批改因测试品和尺度品的容积差、绝热变化的影响以及温度的变化等泄露以外的要素所惹起的差压。

　　浙江思明特差压式气密性检漏仪、空气测漏仪采用差压法进行气密性测试，测试精度高，设备智能高效，可合用于微量、高精度测漏的场所。普遍使用于汽车零部件、各类电子产物、电磁阀、传感器、继电器、仪表、家用电器及零部件、各类包拆罐、水下摄影器材、手表、管等的气密性检测。